Машина за литографију, машина за поравнавање маски, машина за фото-ецање
Представљање производа
Извор светлости користи увезени УВ ЛЕД и модул за обликовање извора светлости, са малом топлотом и добром стабилношћу извора светлости.
Инвертована структура осветљења има добар ефекат одвођења топлоте и ефекат блиског приближавања извору светлости, а замена и одржавање живине лампе су једноставни и практични. Опремљен је бинокуларним микроскопом са двоструким пољем са великим увећањем и ЛЦД екраном широког поља од 21 инча, што омогућава визуелно поравнање кроз...
окулар или CCD + дисплеј, са високом тачношћу поравнања, интуитивним процесом и практичним руковањем.
Карактеристике
Са функцијом обраде фрагмената
Изравнавање контактног притиска обезбеђује поновљивост помоћу сензора
Размак између поравнања и размак између експозиције могу се подесити дигитално
Коришћење уграђеног рачунара + екрана осетљивог на додир, једноставно и практично, лепо и великодушно
Повлачна плоча горе-доле, једноставна и практична
Подржава излагање вакуумском контакту, излагање тврдом контакту, излагање контакту притиском и излагање близини
Са функцијом нано отиска интерфејса
Једнослојна експозиција са једним кључем, висок степен аутоматизације
Ова машина има добру поузданост и практичну демонстрацију, посебно је погодна за наставу, научна истраживања и фабрике на факултетима и универзитетима.
Више детаља
Спецификација
1. Површина експозиције: 110 мм × 110 мм;
2. ★ Таласна дужина експозиције: 365 nm;
3. Резолуција: ≤ 1 м;
4. Тачност поравнања: 0,8 м;
5. Опсег кретања стола за скенирање система за поравнање мора да испуњава најмање: Y: 10 мм;
6. Лева и десна светлосна цев система за поравнање могу се померати одвојено у X, y и Z правцима, X смер: ± 5 мм, Y смер: ± 5 мм и Z смер: ± 5 мм;
7. Величина маске: 2,5 инча, 3 инча, 4 инча, 5 инча;
8. Величина узорка: фрагмент, 2", 3", 4";
9. ★ Погодно за дебљину узорка: 0,5-6 мм, и може да подржи узорке од највише 20 мм (прилагођено);
10. Режим експозиције: мерење времена (режим одбројавања);
11. Неуједначеност осветљења: <2,5%;
12. Микроскоп са двоструким пољем CCD поравнања: зум објектив (1-5 пута) + објектив микроскопа;
13. Угао кретања маске у односу на узорак мора бити најмање: X: 5 mm; Y: 5 mm; : 6º;
14. ★ Густина енергије експозиције: > 30 MW / cm2,
15. ★ Позиција поравнања и позиција експозиције раде у две станице, а серво мотор са две станице се аутоматски пребацује;
16. Изравнавање контактног притиска обезбеђује поновљивост помоћу сензора;
17. ★ Размак између поравнања и размак између експозиције могу се подесити дигитално;
18. ★ Има нано интерфејс за отисак и интерфејс за близину;
19. ★ Управљање екраном осетљивим на додир;
20. Укупне димензије: Око 1400 мм (дужина) 900 мм (ширина) 1500 мм (висина).
