Литографска машина Маска Алигнер Алигнер Пхото-Етцхинг Мацхине
Увод производа
Извор светлости изложености усваја увезени УВ ЛЕД и модул за обликовање светлости, уз малу топлоту и добру стабилност светлости.
Инвертирана структура осветљења има добру ефекат расипације топлоте и извор светлости, а замена и одржавање мерцура лампица су једноставне и практичне. Опремљен високо увећањем бинокуларног двоструког поља микроскопа и 21-инчни ЛЦД екран, може се визуелно ускладити кроз
Екипора о окуларима или ЦЦД +, са високом тачношћу поравнања, интуитивни процес и практично деловање.
Карактеристике
Са функцијом обраде фрагмента
Нивелирање притиска контакта осигурава поновљивост преко сензора
ГАП за поравнање и јаз за излагање могу се поставити дигитално
Коришћење уграђеног рачунара + Операција додира, једноставна и практична, лепа и великодушна
Повуците тип према горе и доље, једноставно и практично
Подршка Вакуумски контакт експозиција, тврдо експозиција контаката, експозиција контакта притиска и изложеност близину
Са функцијом нано утисак интерфејса
Изложеност једним слојем једним кључем, високим степеном аутоматизације
Ова машина има добру поузданост и практичну демонстрацију, посебно погодна за наставу, научна истраживања и фабрике на факултетима и универзитетима
Више детаља







Спецификација
1. Подручје изложености: 110 мм × 110 мм;
2 ★ таласна дужина експозиције: 365НМ;
3. Резолуција: ≤ 1м;
4. Точност поравнања: 0,8м;
5. Опсег покрета Скенирајући систем поравнања барем се састаје: И: 10 мм;
6 леве и десне светлосне цеви система поравнања могу се одвојено кретати у правцу Кс, И и З, к правцу: ± 5 мм, и смер: ± 5 мм и з смер: ± 5 мм;
7. Величина маске: 2,5 инча, 3 инча, 4 инча, 5 инча;
8 Величина узорка: фрагмент, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Погодно за дебљину узорка: 0,5-6 мм и може подржати 20 мм узорака у већини (прилагођени);
10. Режим експозиције: Време (режим одбројавања);
11. Необразовање осветљења: <2,5%;
.
13. Покретни удар маске у односу на узорак ће се барем састати: Кс: 5 мм; И: 5мм; : 6º;
14. ★ Густина енергије изложености:> 30МВ / цм2,
15. ★ Позиција о поравнавању и положај изложености раде на двије станице, а два серво мотор сервера се аутоматски пребацује;
16. Нивелирање притиска контакта осигурава поновљивост преко сензора;
17. ★ ГАП за поравнање и јаз за излагање могу се поставити дигитално;
18. ★ има нано утисак интерфејс и интерфејс близине;
19. ★ операција додирног екрана;
20. Укупна димензија: око 1400 мм (дужина) 900 мм (ширина) 1500 мм (висина).